φ360セラミックスリングの平面加工
セラミックスリングの平面加工
用途：半導体製造装置部品
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加工情報
測定結果
| 項目 | 結果 | |
|---|---|---|
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ワーク |
材質 | アルミナ（Al2O3） |
| サイズ | φ360 x φ280 t=30（mm） | |
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精度 |
平面度 | 1.54 μm |
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使用機種 |
加工機 | GSR-600 |
| 測定機 | SF-640M | |
| ナノメトロ®700FR | ||
測定結果
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