精密平面度測定装置 SF-640M
「見えない世界を見える世界へ」
「精密平面度測定装置 SF-640M」は金型などのワークの精度評価システムとして開発した650×450の測定範囲を有する大型の測定装置。当社のシリコンウェーハ用超精密測定装置である「ナノメトロ」の技術とノウハウを応用した当機は、平面とエッジの高精度な評価を可能にし、平面形状を鳥瞰図や断面図、等高線など様々な形で評価することが可能です。上記サイズを超える測定範囲についても、お問い合わせください。
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特徴
高精度な運動機構！
X軸・Y軸にクロダの精密加工技術によるエアスライダを採用したリニアサーボ駆動により、広範囲を高速、高精度に測定可能です。
各種ワークの評価が可能！
ご要望の評価項目、対象物に応じて最適な測定ヘッドを選択可能。ワークに合わせて変位計を選定させていただきます（接触／非接触）。金属、セラミックス、ガラス、各種ウェーハなど多様なワークの測定に対応します。
簡単操作で豊富な表示解析！
自社開発のソフトウェアにより、ご要望に応じた測定結果の表示・解析が可能。設定の自由度が高く、測定ピッチ・測定速度は任意に設定可能です。これまでのナノメトロシリーズで培った販売実績から、測定対象に応じて最適な評価が行えます。
各種カスタマイズに対応！
ハード、ソフトともに自社設計のため、ご要望に応じてカスタマイズ可能です。最適な測定ソリューションを提供します。
外観形状
性能・仕様
| 型式 | SF-640M | |
|---|---|---|
| 測定範囲 (X × Y） | 650mm × 450mm | |
| 総合測定精度 | 0.6μm (※1) | |
| 繰り返し精度 | 0.1μm (※2) | |
| 表示分解能 | 0.01μm | |
| 測定ヘッド | 非接触レーザ変位計、電気マイクロメータ | |
| 最小データ間隔 | 1μm | |
| 測定速度 | 0.5 ～ 50mm/sec | |
| 軸・ガイド | セラミックス製エアガイド | |
| 駆動方式 |
X軸：リニアモータ Y軸：サーボモータ |
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| 最大ワーク質量 | 40kg | |
| 外観寸法 | W1820mm × D1200mm × H1550mm | |
| 本体質量 | 1000kg | |
| 必要電源 | AC200V (50/60Hz) 15A | |
| 必要圧縮空気 | クリーンドライエア 0.5MPa | |
| 空気流量 | 100L/min (ANR) | |
| 最大ワーク高さ | 50mm | |
| 設置環境 |
室温：20℃ ～ 25℃（変動は1℃以下の事） 床強度：耐荷重9,800N/m２以上 |
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※1 オプチカルフラット測定時の全面PV値
※2 オプチカルフラット10回繰り返し測定時の全面PV値の標準偏差σ
サンプル測定について
サンプル測定を随時お受けしております。ご希望のお客様は下部「お問い合わせフォーム」よりお問い合わせください。
