ナノメトロ®　FRシリーズ

セラミックプレートなど大型の円盤の平面度を高精度に測定

回転エアテーブルを搭載し、ウェーハポリッシュ用セラミックプレートや、ラッピング用テーブルなどφ1000mmまでの円盤の表面形状が測定できます。詳細評価用の同心円状測定や、概略評価用の放射状測定など各種の測定に対応したソフトウエアを用意しています。

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特徴

回転エアテーブルを搭載し、X軸にクロダの精密加工技術によるエアスライダを採用したリニアサーボ駆動。φ1000までの円盤の表面形状を高速、高精度に測定可能です。

ご要望の評価項目、対象物に応じて最適な測定ヘッドを選択可能。ワークに合わせて変位計を選定させていただきます（接触／非接触）。金属、セラミックス、ガラス、各種ウェーハなど多様なワークの測定に対応します。

同心円測定：測定範囲、ピッチ、回転数の設定が可能。測定範囲内を同心円状に測定。詳細評価に最適。

放射状測定：任意に設定した角度で放射状に測定。短時間で形状把握する概略評価に最適。

自社開発のソフトウェアにより、ご要望に応じた測定結果の表示・解析が可能。任意の測定ピッチ設定が可能なため、対象ワークサイズに応じて自由度の高い測定が行えます。独自の解析システムが高精度な再現性を実現します。

ハード、ソフトともに自社設計のため、ご要望に応じてカスタマイズ可能です。最適な測定ソリューションを提供します。