φ380セラミックス円盤の平面加工
高い面粗度と平面度が求められる難削材加工
用途：半導体製造装置
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加工情報
測定結果
| 項目 | 結果 | |
|---|---|---|
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ワーク |
材質 | アルミナ（Al2O3） |
| サイズ | φ380 t=10（mm） | |
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精度 |
平面度 | 0.990 μm |
| 面粗度（Ra） | 0.76 μm | |
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時間 |
仕上げ加工 | 100 分（研削量 0.050 mm） |
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使用機種 |
加工機 | GS-126CVs |
| 測定機 | ナノメトロ®700FR | |
面粗度の測定結果
測定の様子
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