セラミックスガイドの平面加工
高い面粗度と平面度が求められる難削材加工
用途：半導体製造装置
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加工情報
測定結果
| 項目 | 結果 | |
|---|---|---|
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ワーク |
材質 | アルミナ（Al2O3） |
| サイズ | W600×D80×H120 mm | |
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精度 |
平面度 | 1.19 μm |
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時間 |
24 分 (取り代 0.010 mm) | |
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使用機種 |
加工機 | GS-126CVs |
| 測定機 | SF-640M | |
測定結果
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