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NANOMETRO® TT系列

同步检验表面形状、背面形状和平整度!

NANOMETRO®TT系列是用于纵向旋转、边缘夹持式晶圆的平整度测量装置。边缘排除区最小1mm,可进行盒至盒的高精度自动测量。评价项目依据SEMI标准。

数据下载

特点

  • 平整度测量例

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  • 边缘排除区1mm

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  • 边缘排除区3mm

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  • 放射状测量数据

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  • 边缘滚降分析

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  • 边缘鸟瞰图、截面图

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<Edge Roll-off分析>
根据表面和背面同步检测得到的放射状测量结果,提供符合客户需求的分析软件。

性能、规格

项目NANOMETRO®300TTNANOMETRO®200TT
量程 φ300mm φ200mm
显示分辨率 1nm
测头 非接触激光位移计
测量方式 纵向旋转方式
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