NANOMETRO® TT系列
同步检验表面形状、背面形状和平整度！
NANOMETRO®TT系列是用于纵向旋转、边缘夹持式晶圆的平整度测量装置。边缘排除区最小1mm，可进行盒至盒的高精度自动测量。评价项目依据SEMI标准。
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特点
- 平整度测量例
- 边缘排除区1mm
- 边缘排除区3mm
- 放射状测量数据
- 边缘滚降分析
- 边缘鸟瞰图、截面图
＜Edge Roll-off分析＞
根据表面和背面同步检测得到的放射状测量结果，提供符合客户需求的分析软件。
性能、规格
| 项目 | NANOMETRO®300TT | NANOMETRO®200TT |
|---|---|---|
| 量程 | φ300mm | φ200mm |
| 显示分辨率 | 1nm | |
| 测头 | 非接触激光位移计 | |
| 测量方式 | 纵向旋转方式 | |
