超高精度平面度测量装置 SF-640M
“让看不见的世界变成看得见”
我公司开发的“超精密平面度测量装置 SF-640M”，是对精密平面磨床加工的模具等工件进行精度评价的系统。本机运用了我公司硅晶圆用超精密测量装置“NANOMETRO®”的技术与诀窍，实现了平面和边缘的高精度评价，并可采用鸟瞰图、截面图、等高线等不同方式对平面形状做出评价。
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特点
高精度运动结构！
采用高精度气动滑座、线性伺服马达等黑田超精密加工技术，实现了世界最高水平的平面度测量。
操作简单，显示和解析功能丰富！
为了对测量结果做出最适合的评价，运用在NANOMETRO®系列销售业绩中积累的经验，配备了我公司自行开发的各种显示和解析软件。
可对各种工件进行评价！
支持金属、陶瓷、玻璃、各种晶圆等各种工件。测头采用可根据客户所要求的评价项目和精度进行更换的设计，可对测定对象做出最适合的评价。
安全性、操作性和高精度兼备，深思熟虑的结构设计！
配备大小2种测量工件拆装门，以保证安全性，同时可用起重机等设备装载工件，在设计中注重操作性。此外，通过将测量中的外部干扰影响控制在最低限度和将产生热量的电气装配部件分离，实现了高精度测量。
外观形状
性能、规格
| 项目 | SF-640M | |
|---|---|---|
| 量程 (X × Y） | 650mm × 450mm | |
| 综合测量精度 | 0.6μm (※1) | |
| 重复精度 | 0.1μm (※2) | |
| 显示分辨率 | 0.01μm | |
| 测头 | 非接触激光位移计、电子千分尺 | |
| 最小数据周期 | 1μm | |
| 测量速度 | 0.5 ～ 50mm/sec | |
| 轴、导轨 | 陶瓷制气动导轨 | |
| 驱动方式 |
X轴：线性马达 Y轴：伺服马达 |
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| 最大工件重量 | 40kg | |
| 外观尺寸 | W1820mm × D1200mm × H1550mm | |
| 主体的重量 | 1000kg | |
| 适用电源 | AC200V (50/60Hz) 15A | |
| 适用压缩空气 | 洁净干燥空气 0.5MPa | |
| 空気流量 | 100L/min (ANR) | |
| 最大工件高 | 50mm | |
| 设置环境 |
室温：20ºC ～ 25ºC（波动在1ºC以下） 地面承重强度：耐荷载9800N/m2以上 |
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※1 平晶测量时的全面PV值
※2 重复平晶测量10次时的全面PV值的标准偏差σ
关于样品测量
我公司随时承接样品测量。有需求的客户请使用下方的“垂询表”进行垂询。
