计量
黑田的"计量"黑田的
表面形状测量系统
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硅片平整度测量系统
- NANOMETRO® TT系列
- 同步检验表面形状、背面形状和平整度!
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硅片平整度 / SORI 测量系统
- NANOMETRO® 300PT
- 用于成膜时的工序控制和卡紧时平整度控制
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表面形状测量系统
- NANOMETRO® F系列
- 对晶圆、FPD用玻璃基板等表面形状进行高精度测量。
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表面形状测量系统
- 超高精度平面度测量装置 SF-640M
- “让看不见的世界变成看得见”
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对于盘表面形状测量系统
- NANOMETRO® FR系列
- 对陶瓷板等平面度进行高精度测量