NANOMETRO® FR系列
对陶瓷板等平面度进行高精度测量
搭载旋转气动台，可测量晶圆抛光用陶瓷板、研磨台等最大φ1000mm的圆盘表面形状。配备有详细评价用同心圆测量、粗略评价用放射状测量等各种测量所需的评价用软件。
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性能、规格
| 项目 |
NANOMETRO® 700FR |
NANOMETRO® 1000FR |
|---|---|---|
| 量程 | φ700mm(max.) | φ1000mm(max.) |
| 综合测量精度 | 0.4μm | 0.6μm |
| 重复测量精度 | 0.05μm(σ) | |
| 显示分辨率 | 0.01μm | |
| 测头 | 电子千分尺 | |
| 最大测量速度（X轴） | 35mm/s | |
| 轴、导轨 |
X轴：陶瓷制气动滑座 θ轴：气动轴承 |
|
| 驱动方式 |
X轴：线性马达 θ轴：伺服马达 |
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| 最大工件重量 | 60kg | 80kg |
