NANOMETRO® TT 시리즈
표면 형상 및 뒷면 형상, 평탄도를 동시에 검사!
NANOMETRO® TT 시리즈는 수직 회전, 에지 그립 타입의 웨이퍼용 평탄도 측정 장치입니다. 에지 제외의 최소는 1mm, 카세트 투 카세트에 의한 고정밀도의 자동 측정이 가능합니다. 또한 평가 항목은 SEMI의 규격에 준하고 있습니다.
데이터 다운로드
특징
- 평탄도 측정 예
- 에지 제외 1mm
- 에지 제외 3mm
- 방사상 측정 데이터
- 에지 롤오프 해석
- 에지 조감도 및 단면도
＜Edge Roll-off 해석＞
표면 및 뒷면을 동시에 계측한 방사상 측정 결과를 바탕으로 고객님의 니즈에 대응한 해석 소프트웨어를 제공하고 있습니다.
성능/사양
| 형식 | NANOMETRO 300TT | NANOMETRO 200TT |
|---|---|---|
| 측정 범위 | φ300mm | φ200mm |
| 표시 분해능 | 1nm | |
| 작동 형식 | 비접촉 레이저 변위계 | |
| 측정 방식 | 수직 회전 방식 | |
