クロダの超精密加工技術による高精度エアスライダ、リニアサーボモータなどの採用により、世界最高水準の平面度測定を可能としています。
測定結果を最適に評価するため、ナノメトロシリーズの販売実績で培った経験から、自社開発した多様な表示・解析ソフトを用意しました。
金属、セラミックス、ガラス、各種ウェーハなどの多様なワークに対応。ご要望の評価項目や精度に応じて測定ヘッドは交換可能な設計とし、測定対象に最適な評価を行えます。
測定ワーク脱着用に大小2種類の扉を備え、安全性を確保するとともに、クレーン等でワーク搭載が可能となるよう作業性を考慮した設計にしています。また、測定中の外乱影響を最小限に抑え、熱源となる電装部を切り離すことで、高精度な測定が可能となっています。
型式 | SF-640M |
測定範囲 (X × Y) | 650mm × 450mm |
総合測定精度 | 0.6μm (※1) |
繰り返し精度 | 0.1μm (※2) |
表示分解能 | 0.01μm |
測定ヘッド | 非接触レーザ変位計、電気マイクロメータ |
最小データ間隔 | 1μm |
測定速度 | 0.5 ~ 50mm/sec |
軸・ガイド | セラミックス製エアガイド |
駆動方式 | X軸:リニアモータ Y軸:サーボモータ |
最大ワーク質量 | 40kg |
外観寸法 | W1820mm × D1200mm × H1550mm |
本体質量 | 1000kg |
必要電源 | AC200V (50/60Hz) 15A |
必要圧縮空気 | クリーンドライエア 0.5MPa |
空気流量 | 100L/min (ANR) |
最大ワーク高さ | 50mm |
設置環境 | 室温:20℃ ~ 25℃(変動は1℃以下の事) 床強度:耐荷重9,800N/m2以上 |