JP/EN
お問い合わせ

表面形状の測定と解析をしたい円盤用表面形状測定装置
700FR

セラミックプレートなどの平面度を高精度に測定
回転エアテーブルを搭載し、ウェーハポリッシュ用セラミックプレートや、ラッピング用テーブルなどφ700mmまでの円盤の表面形状が測定できます。 詳細評価用の同心円状測定や、概略評価用の放射状測定など各種の測定に対応したソフトウエアを用意しています。

性能・仕様

※横にスクロールできます。
項目 円盤用表面形状測定装置 700FR
測定範囲 φ700mm(max.)
総合測定精度 0.4µm
繰り返し測定精度 0.05µm(σ)
表示分解能 0.01µm
測定ヘッド 電気マイクロメータ
最大測定速度(X軸) 35mm/s
軸・ガイド x軸:セラミックス製エアガイド
θ軸:エアベアリング
駆動方式 X軸:リニアモーター
θ軸:サーボモーター
最大ワーク質量 60kg
カタログダウンロード・
お問い合わせはこちら

その他の
課題別ソリューション
SOLUTIONS

製品に関するお問い合わせ

お問い合わせフォーム、
または最寄りの営業所へご連絡ください。