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円盤用表面形状測定装置
表面形状の測定と解析をしたい
円盤用表面形状測定装置
700FR
セラミックプレートなどの平面度を高精度に測定
回転エアテーブルを搭載し、ウェーハポリッシュ用セラミックプレートや、ラッピング用テーブルなどφ700mmまでの円盤の表面形状が測定できます。 詳細評価用の同心円状測定や、概略評価用の放射状測定など各種の測定に対応したソフトウエアを用意しています。
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性能・仕様
※横にスクロールできます。
項目
円盤用表面形状測定装置 700FR
測定範囲
φ700mm(max.)
総合測定精度
0.4µm
繰り返し測定精度
0.05µm(σ)
表示分解能
0.01µm
測定ヘッド
電気マイクロメータ
最大測定速度(X軸)
35mm/s
軸・ガイド
x軸:セラミックス製エアガイド
θ軸:エアベアリング
駆動方式
X軸:リニアモーター
θ軸:サーボモーター
最大ワーク質量
60kg
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