NANOMETRO®　300PT

用于成膜时的工序控制和卡紧时平整度控制

水平旋转、真空卡盘式φ300mm晶圆用表面形状检验装置。
边缘排除区最小1mm，可进行盒至盒的SORI、平整度等高精度自动测量。

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