最先端技術のニーズに応える 測定物の種類、大きさ、測定範囲など用途に合わせたシステムを用意しました。 NANOMETRO Series INDEX ウェーハ用平坦度検査装置 ナノメトロＴＴシリーズ 表面形状・裏面形状、平坦度を 同時に検査！  ナノメトロ450TT サンプル測定お受けいたします ナノメトロ400FW （株）スーパーシリコン研究所と共同開発 超精密表面形状測定装置 ナノメトロＦシリーズ ウェーハ、ＦＰＤ用ガラス基板などの表面形状を高精度に測定！ バキュームチャック方式により 450mmウェーハの平坦度測定を実現 円盤用表面形状測定装置 ナノメトロＦＲシリーズ セラミックスプレートなどの平面度を高精度に測定！ 真直度測定装置 ナノメトロＳシリーズ 最大１５００mmまでの真直度を測定！ φ300mmウェーハ用表面形状検査装置 ナノメトロ300ＰＴ 成膜時の工程管理やチャック時の平坦度管理に！ 大型ガラス基板測定装置 ナノメトロFTTシリーズ 液晶用フォトマスク基板の表面形状、裏面形状、平坦度、厚さを測定！