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ナノメトロ® TTシリーズ

表面形状・裏面形状、平坦度を同時に検査!

ナノメトロTTシリーズは、縦型回転・エッジグリップタイプのウェーハ用平坦度測定装置です。エッジエクスクルージョンの最小は1mm、カセット・ツー・カセットによる高精度な自動測定が可能です。また、評価項目はSEMIの規格に準じています。

【シリーズ】
・300TT-A
・300TT-FA
・200TT-A

データダウンロード

特徴

  • 平坦度測定例

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  • エッジエクスクルーション1mm

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  • エッジエクスクルーション3mm

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  • 放射状測定データ

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  • エッジロールオフ解析

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  • エッジ鳥瞰図・断面図

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<Edge Roll-off解析>
表面・裏面を同時に計測した放射状測定結果をもとに、お客様のニーズに対応した解析ソフトウエアを提供しています。

性能・仕様

形式ナノメトロ300TTナノメトロ200TT
測定範囲 φ300mm φ200mm
表示分解能 1mm
測定ヘッド 非接触レーザ変位計
測定方式 縦型回転方式
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