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【新製品】超高精度平面度測定装置 SF-640M

「見えない世界を見える世界へ」

「超精密平面度測定装置 SF-640M」は、精密平面研削盤で加工した金型などのワークの精度評価システムとして開発。当社のシリコンウェーハ用超精密測定装置である「ナノメトロ」の技術とノウハウを応用した当機は、平面とエッジの高精度な評価を可能にし、平面形状を鳥瞰図や断面図、等高線など様々な形で評価することが可能です。

データダウンロード

特徴

高精度な運動機構!

クロダの超精密加工技術による高精度エアスライダ、リニアサーボモータなどの採用により、世界最高水準の平面度測定を可能としています。

簡単操作で豊富な表示解析!

測定結果を最適に評価するため、ナノメトロシリーズの販売実績で培った経験から、自社開発した多様な表示・解析ソフトを用意しました。

各種ワークの評価が可能!

金属、セラミックス、ガラス、各種ウェーハなどの多様なワークに対応。ご要望の評価項目や精度に応じて測定ヘッドは交換可能な設計とし、測定対象に最適な評価を行えます。

安全性、作業性、高精度を兼ね備えた、考え抜かれた構造設計!

測定ワーク脱着用に大小2種類の扉を備え、安全性を確保するとともに、クレーン等でワーク搭載が可能となるよう作業性を考慮した設計にしています。また、測定中の外乱影響を最小限に抑え、熱源となる電装部を切り離すことで、高精度な測定が可能となっています。

外観形状

SF-640exte.jpg

性能・仕様

型式SF-640M
測定範囲 (X × Y) 650mm × 450mm
総合測定精度 0.6μm (※1)
繰り返し精度 0.1μm (※2)
表示分解能 0.01μm
測定ヘッド 非接触レーザ変位計、電気マイクロメータ
最小データ間隔 1μm
測定速度 0.5 ~ 50mm/sec
軸・ガイド セラミックス製エアガイド
駆動方式

X軸:リニアモータ

Y軸:サーボモータ

最大ワーク質量 40kg
外観寸法 W1820mm × D1200mm × H1550mm
本体質量 1000kg
必要電源 AC200V (50/60Hz) 15A
必要圧縮空気 クリーンドライエア 0.5MPa
空気流量 100L/min (ANR)
最大ワーク高さ 50mm
設置環境

室温:20℃ ~ 25℃(変動は1℃以下の事)

床強度:耐荷重9,800N/m2以上

※1 オプチカルフラット測定時の全面PV値
※2 オプチカルフラット10回繰り返し測定時の全面PV値の標準偏差σ

サンプル測定について

サンプル測定を随時お受けしております。ご希望のお客様は下部「お問い合わせフォーム」よりお問い合わせください。

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