ナノメトロ® Fシリーズ
ウェーハ、FPD用ガラス基板などの表面形状を高精度に測定
高い剛性を持った高精度のエアステージを採用し、ウェーハやFPD用ガラス基板、大形セラミック定盤、精密テーブルなど大形部材の表面形状を高い精度で測定できます。表面形状の解析評価から、あらさレベルの評価まで、簡単な操作で多彩なデータの出力が可能です。
【シリーズ】
・ナノメトロ110F
・ナノメトロ330F
・ナノメトロ750F
データダウンロード
性能・仕様
| 形式 |
ナノメトロ 110F |
ナノメトロ 330F |
ナノメトロ 750F |
|---|---|---|---|
| 測定範囲 |
X:100mm Y:100mm |
X:300mm Y:300mm |
X:700mm Y:500mm |
| 総合測定精度 | 0.4μm | 0.6μm | |
| 繰り返し測定精度 | 0.05μm(σ) | 0.1μm(σ) | |
| 表示分解能 | 0.01μm | ||
| 測定ヘッド | 非接触レーザー変位計 | ||
| 最小データ間隔 | 1μm | ||
| 測定速度 | 0.5~30mm/s | ||
| 軸・ガイド | エアスライド | セラミックス製エアガイド | |
| 駆動方式 | XY:サーボモーター |
X:リニアモーター Y:サーボモーター |
|
| 最大ワーク質量 | 4kg | 50kg | 50kg |
