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ナノメトロ® Fシリーズ

ウェーハ、FPD用ガラス基板などの表面形状を高精度に測定

高い剛性を持った高精度のエアステージを採用し、ウェーハやFPD用ガラス基板、大形セラミック定盤、精密テーブルなど大形部材の表面形状を高い精度で測定できます。表面形状の解析評価から、あらさレベルの評価まで、簡単な操作で多彩なデータの出力が可能です。

【シリーズ】
・ナノメトロ110F
・ナノメトロ300F
・ナノメトロ750F

データダウンロード

性能・仕様

形式

ナノメトロ

110F

ナノメトロ

300F

ナノメトロ

750F

測定範囲

X:100mm

Y:100mm

X:300mm

Y:300mm

X:700mm

Y:500mm

総合測定精度 0.4μm 0.6μmテキスト
繰り返し測定精度 0.05μm(σ) 0.1μm(σ)
表示分解能 0.01μm
測定ヘッド 非接触レーザー変位計
最小データ間隔 1μm
測定速度 0.5~30mm/s
軸・ガイド エアスライド セラミックス製エアガイド
駆動方式 XY:サーボモーター

X:リニアモーター

Y:サーボモーター

最大ワーク質量 4kg 50kg 50kg
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