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ナノメトロ® Sシリーズ

最大1500mmまでの真直度を測定

高剛性セラミックガイドを用いたエアスライドとリニアモーターの組み合わせにより、高精度の真直度測定が可能です。

データダウンロード

特徴

表示・解析

nano_Sseries_zu.gif

性能・仕様

形式

ナノメトロ

300S

ナノメトロ

600S

ナノメトロ

1000S

測定範囲 300mm 600mm 1000mm
総合測定精度 0.15μm 0.3μm 0.5μm
表示分解能 0.01μm
測定ヘッド 電気マイクロメータ
最小データ間隔 0.1mn
測定速度 0.5~30mm/s
軸・ガイド セラミックス製エアガイド
駆動方式 リニアモーター
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