ナノメトロ®　300PT

成膜時の工程管理やチャック時の平坦度管理に

水平回転、バキュームチャックタイプのφ300mmウェーハ用表面形状検査装置です。
エッジエクスクルージョンの最小は1mm。カセット・ツー・カセットによるSORI、平坦度などの高精度自動測定が可能です。

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