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ナノメトロ® FTTシリーズ

液晶用フォトマスク基板の表面形状、裏面形状、平坦度、厚さを測定

液晶用フォトマスク基板の表面形状、裏面形状、平坦度、厚さを測定します。
各軸には高剛性エアスライダを採用。大面積の高精度な評価が可能です。
測定範囲、ソフトウエアのカスタマイズ等、お客様のニーズに対応した装置を提供します。

データダウンロード

性能・仕様

最大測定範囲

1300mmx1500mm

*ご要望に応じて検討します。

測定速度 200mm/s
軸・ガイド

X軸:セラミックス製エアスライダ

Y軸:エアスライダおよびボールねじ

駆動方式

X軸:リニアモータ

Y軸:サーボモータ

測定ヘッド 非接触式レーザ変位計
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