저발진사양 볼스크류
Back
반도체,액정제조장치에 있어서의 미세화, 대형화에 동반하여
볼스크류등의 발진량에 대한, 보다 엄격한 기준이 요구되어 지고 있습니다.
KURODA에서는 전용의 클린부스내에서 데이터수집을 실행하여
저발진의 요구에 대응하고 있습니다.
시험방법
클린부스내에 클린챔버를 설치하여, 그 내부에 스탭핑모터, 볼스크류, 베어링, 직동안내를 사용하여 단축구동계를 구성한다.
볼스크류 이외의 발진을 방진하기 위하여, 베어링 및 직동안내에 커버를 설치하여 흡인한다. 단, 직동안내용 커버는 구조상 스리트(길고 가는 틈)을 설치한다.
볼스크류를 일정속도에서 왕복운동 시켜 클린챔버의 하부로 부터 1입방피트의 공기를 흡인한다. 입경 0.13μm이상의 진애(먼지와 티끌)수를 파티클카운터를 사용하여 입경별로 계측하여 컴퓨터로 데이터처리를 실시한다.
시험조건
회전속도:121200rpm
시험환경
부스내의 청정도:클래스 10 이하
챔버내의 청정도:클래스 1 정도
볼스크류사양
축경 20mm
리드 20mm
예압하중 74N
스트로크 250mm
C구리스주입량 1cc
추가보충 없음
스텐레스제의 볼스크류 및 각종표면처리도 대응하고 있습니다.

사용하실 때에는 사용상의 주의가 기재된 카탈로크를 참조하여주십시요.