고집적화하고 있는 반도체・액정산업에 있어서 미세화기술은 하나의 핵심기술로서 필요불가결한 존제가 되었습니다. 쿠로다의 정밀위치결정스테이지는 게이지・공작기계제조로 배양한 기술을 기초로 볼스크류, 구름직동안내 및 세라믹제 에어가이드등을 조합한 솔루션 상품입니다.

고정밀.고강성 정밀볼스크류,구름직동안내 및 세라믹제 에어가이드등이 자유롭게 선택가능하기 때문에, 용도에 맞추어 위치결정 및 신직도, 강성의 확보가 가능합니다. 신뢰의 정밀측정기술 게이지 제조에서 배양한 정밀측정기술을 베이스로 위치결정정도, 로스트모션,신직도, 직각도등 신뢰성 높은 데이터측정이 가능합니다. 완전한 특주품 설계로 부터 제작까지, 모두가 특주대응임으로 고객에 요구에 적합한 솔루션을 제안하고 있습니다. 용도 웨퍼・액정검사장치 레이저관련장치 기반관련장치 각종이송장치 사양예 정도항목 허용치 수직 및 수평방향 신직도 X축 30m/700mm Y축 15m/300mm 수직도 (Z축) 10m/50mm 반복위치결정정도 (X,Y,Z축) 1m 로스트모션 3m/300mm XY축 신직도 10m/300mm 정도항목 허용치 반복위치결정정도 (X,Y축) 1m 수평방향신직도 (X,Y축) 5m/1000mm XY축 신직도 5m/300mm 테이블상면의 평행도 10m/500mm

쿠로다에서는 풍부한 경험을 기초로 스테이지설계를 돕고 있습니다.