초정밀볼스크류
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C0등급이상
반도체 제조장치,광학계 측정기,클린로봇등 각종 산업계의
다양화 되고 있는 요구에 대응하기 위하여,
쿠로다정공에서는 C0 이상의

초정밀볼스크류도 제작하고 있습니다.
초정밀볼스크류(변동 e21.5m)
취보의 측정데이터
반도체의 고집적화에 동반하여 광디스크에의 기입, 컬러인쇄기(전자색분해장치)등의 초고정도의 위치결정을 하기 위해서는, 취보e2π를 최소로 유지할 필요가 있습니다.
쿠로다에서는 수가공 랩핑에 의하여 , 0.0015mm/2πrad이하를 실현하여, 이러한 요구에 대응하고 있습니다. 또한, 계측평가시스템으로서, 레이저식 자동리드측정기와 미니컴에 의한 평가시스템을 실용화하여 0.0001mm단위의 데이터 첨부도 실시하고 있습니다.
초정밀볼스크류(0.1m/1펄스의 이송가능)
토르크변동의 측정데이터
초정밀의 미세이송을 할 경우, 볼스크류에 토르크변동이 있으면 제어계에 잔류펄스가 발생하여, 필요한 정도를 얻을 수 없습니다.또한, 광학계 측정기, 검사장치등에 있어서는, 토르크 변동이 이동속도의 변동으로 나타나, 정확한 도면제작을 할 수 없게 됩니다. 또한, 클로즈루프 제어의 경우에도, 기계계의 강송 및 마찰이 제어루프에 반영되기 때문에, 기계계와 제어계의 동조가 중요합니다.
쿠로다는, 랩핑에 의한 나사구의 형상 및 원통도관리를 실시함으로써, 미소토크크에 있어서의 토르크변동을 최소로 하여,0.1m/1펄스의 이송이 가능한 볼스크류를 실용화하고 있습니다. 또한, 수정식압전형센서를 사용한 연속토르크 측정기에 의한 토르크 변동 측정데이터도 첨부하고 있습니다.
그 이외에, 0.1μm이하의 초정밀위치결정용으로, 스프링예압을 채용한 사다리꼴나사, 삼각이송나사등도 제작하고 있습니다.
초정밀볼스크류(나사축축심의 전흔들림이 C0등급의 1/41/3)
나사축의 휨이 전흔들림의 허용치내라면,일반적 구조하에서는 볼스크류의 양측에 설치된 강성이 있는 가이드에 의하여 교정되어, 특히 이송정도에는 영향을 주지 않습니다. 하지만, 정압가이드 및 컴팩트한 설계를 고려한 간이 가이드등을 사용하는 경우, 이송정도를 악화시켜 피칭오차 및 요잉오차로 나타나게 됩니다.
쿠로다는, 특수한 가공방법에 의하여 나사축축심의 전흔들림이 C0등급 허용치의 1/4~1/3이내의 볼스크류를 제작하고 있습니다.

사용하실 때에는 사용상의 주의가 기재된 카탈로크를 참조하여주십시요.