| C0등급이상 |
반도체제조장치,광학계측정기,클린로봇등 각종산업계의
다양화하고 있는 요구에 대응하기 위하여,
쿠로다정공에서는 C0 이상의
초정밀볼스크류도 제작하고 있습니다. |
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초정밀볼스크류(변동 e2  1.5 m) |
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| 취보의 측정데이터 |
반도체의 고집적화에 동반하여 광디스크에의 기입, 컬러인쇄기(전자색분해장치)등의 초고정도의 위치결정을 하기위하여서는,취보e2 를 최소로 유지할 필요가 있습니다.
쿠로다에서는 수가공 랩핑에 의하여 , 0.0015mm/2rad이하를 실현하여, 이러한 요구에 대응하고 있습니다. 또한, 계측평가시스템으로서, 레저식자동리드측정기와 미니컴에 의한 평가시스템을
실용화하여 0.0001mm단위의 데이터첨부도 실시하고 있습니다. |
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| 초정밀볼스크류(0.1m/１펄스의 이송가능) |
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| 토르크변동의 측정데이터 |
초정밀의 미세이송을 할 경우, 볼스크류에 토르크변동이 있으면 제어계에 잔류펄스가 발생하여, 필요한 정도를 얻을 수 없습니다.또한, 광학계측정기,검사장치등에 있어서는, 토르크변동이 이동속도의 변동으로 나타나, 정확학 도면제작을 할 수 없게 됩니다. 또한, 클로즈루프제어의 경우에도, 기계계의 강송 및 마찰이 제어루프에 반영되기 때문에, 기계계와 제어계의 동조가 중요합니다.
쿠로다는, 랩핑에 의한 나사구의 형상 및 원통도관리를 실시함으로써, 미소토크크에 있어서의 토르크변동을 최소로 하여,0.1 m/1펄스의 이송이 가능한 볼스크류를 실용화하고 있습니다. 또한, 수정식압전형센서를 사용한 연속토르크측정기에 의한 토르크변동 측정데이터도
첨부하고 있습니다.
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| 그 이외에, 0.1μm이하의 초정밀위치결정용으로, 스프링예압을 채용한 사다리꼴나사, 삼각이송나사등도 제작하고 있습니다. |
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초정밀볼스크류(나사축축심의 전흔들림이C0등급의 1/4 1/3) |
나사축의 휨이 전흔들림의 허용치내라면,일반적구조의 볼스크류의 양측에 설치된 강성이 있는 가이드에 의하여 교정되어, 특히 이송정도에는 영향을 주지않지만, 정압가이드 및 컴팩트한 설계를 고려한 간이 가이드등을 사용하는 경우, 이송정도를 악화시켜 피칭오차 및 요잉오차로 나타나게 됩니다.
쿠로다는, 특별한 가공방법에 의하여 나사축축심의 전흔들림이 C0등급 허용치의 1/4～1/3이내의 볼스크류를 제작하고 있습니다. |
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