ナノメトロ® TTシリーズ
表面形状・裏面形状、平坦度を同時に検査！
ナノメトロTTシリーズは、縦型回転・エッジグリップタイプのウェーハ用平坦度測定装置です。エッジエクスクルージョンの最小は1mm、カセット・ツー・カセットによる高精度な自動測定が可能です。また、評価項目はＳＥＭＩの規格に準じています。
【シリーズ】
・300TT-A
・300TT-FA
・200TT-A
データダウンロード
特徴
- 平坦度測定例
- エッジエクスクルーション1mm
- エッジエクスクルーション3mm
- 放射状測定データ
- エッジロールオフ解析
- エッジ鳥瞰図・断面図
＜Edge Roll-off解析＞
表面・裏面を同時に計測した放射状測定結果をもとに、お客様のニーズに対応した解析ソフトウエアを提供しています。
性能・仕様
| 形式 | ナノメトロ300TT | ナノメトロ200TT |
|---|---|---|
| 測定範囲 | φ300mm | φ200mm |
| 表示分解能 | 1nm | |
| 測定ヘッド | 非接触レーザ変位計 | |
| 測定方式 | 縦型回転方式 | |
