ナノメトロ® FRシリーズ
セラミックプレートなどの平面度を高精度に測定
回転エアテーブルを搭載し、ウェーハポリッシュ用セラミックプレートや、ラッピング用テーブルなどφ1000mmまでの円盤の表面形状が測定できます。 詳細評価用の同心円状測定や、概略評価用の放射状測定など各種の測定に対応したソフトウエアを用意しています。
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性能・仕様
| 形式 |
ナノメトロ 700FR |
ナノメトロ 1000FR |
|---|---|---|
| 測定範囲 | φ700mm(max.) | φ1000mm(max.) |
| 総合測定精度 | 0.4μm | 0.6μm |
| 繰り返し測定精度 | 0.05μm(σ) | |
| 表示分解能 | 0.01μm | |
| 測定ヘッド | 電気マイクロメータ | |
| 最大測定速度（X軸） | 35mm/s | |
| 軸・ガイド |
x軸：セラミックス製エアガイド θ軸：エアベアリング |
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| 駆動方式 |
X軸：リニアモーター θ軸：サーボモーター |
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| 最大ワーク質量 | 60kg | 80kg |
