随着半导体,液晶加工设备向微细化,大型化方向发展,
对滚珠丝杠等的灰尘颗粒产生量基准的要求更加严格。
KURODA在专用的无尘室里进行收集数据,以满足对低发尘的要求。 |
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| 测试方法 |
在无尘间中设置无尘试验箱,把由步进马达,滚珠丝杠,轴承,直线导轨组成的单轴模组放入无尘实验室中。
在单轴模组的运动过程中,除滚珠丝杠之外轴承,直线导轨等元件也会因受到摩擦而产生尘埃。为了能够准确的测出滚珠丝杠的尘埃产生量,我们将除滚珠丝杠以外的元件(如轴承,直线导轨)用套子罩住,并用专用的吸尘设备将这部分灰尘吸出。
使滚珠丝杠以一定的速度做往返运动,从无尘试验间的下方吸取1立方英尺的空气,把其中直径大于0.13μm的尘埃颗粒按照颗粒直径的大小分类并使用粒子计数器进行测量。然后分析这些数据。此外,为了提高测量值的精确度,我们还采用了除静电设备。 |
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| 监测条件 |
| 旋转速度:12~1200rpm |
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| 监测环境 |
| 无尘间的清洁度:小于10CLASS |
| 试验间的清洁度:1CLASS左右 |
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| 滚珠丝杠规格 |
| 直径 |
20mm |
| 导程 |
20mm |
| 预压力 |
74N |
| 行程 |
250mm |
| C型油脂加注量 |
1cc
无追加补充 |
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